一、技术参数
1. 仪器的分辨率及灵敏度（Ag 3d5/2峰强度@半高全宽，最佳测试条件下）：（1）大束斑条件下的能量分辨率和灵敏度可以达到：2.6Mcps@0.6eV、10.5 Mcps@1.0eV；（2）小束斑条件下的能量分辨率和灵敏度可以达到：50kcps@0.6eV、350kcps@1.0eV；
2. 最小分析束斑：10μm；
3. 标准样品台摆放面积为3600 mm2，最大测试样品厚度20mm；
4. 紫外光电子能谱最佳能量分辨率和灵敏度：对Ag费米边，当能量分辨率为120 meV时，灵敏度（Ag4d）可以达到2,100,000 cps；
5. 反射电子能量损失谱最佳能量分辨率和灵敏度：对于干净的银样品，能量分辨率为0.5 eV时，灵敏度可以达到1200 kcps。
二、主要特点
1. 大/小束斑性能俱佳，超低光源功率获得高灵敏度，全自动荷电中和系统，全自动紫外光电子能谱，全自动多技术联用；
2. 配备了三套光学定位系统，样品定位精准快速；
3. 样品台尺寸大，最大可分析6cm（长）*6cm（宽）*2cm（高）的样品
三、应用领域
X射线光电子能谱仪以独有的元素、化学态分析能力和表面敏感（测试深度~10nm）特性及简易的操作等优势在材料学、物理学、化学、生物学、考古学、地矿学、食品科学、微电子工业以及刑事侦查等领域有广泛的应用。它可以对各类材料表面进行元素/化学态的定性和定量分析。
