一、技术参数

1. 分辨率：0.6nm@15kV，0.7nm@1kV，WD≥1mm；

2. 加速电压：0.5～30 kV，0.02 kV-20 kV（减速模式）；

3. 放大倍率：40-2000000×；

4. 最大束流：≥20nA；

5. 元素分析范围：Be4～Cf98；能量分辨率(Mn-Ka)：优于127 eV @ Mn Ka。

二、主要特点

1. 不需要24小时供电，可以随时开关灯丝；

2.配备了自动电子光路调节功能，从光路对中到象散校正的一系列调整工作可以自动完成，可避免人为操作导致的差异；

3. 离子清洗仪，安装在交换仓上清洗样品， 清洗去除效率：1.5nm/min@30W。

三、应用领域

扫描电镜以其高的分辨率，良好的景深及简易的操作等优势在材料学、物理学、化学、生物学、考古学、地矿学、食品科学、微电子工业以及刑事侦查等领域有广泛的应用。它可以对组织进行形貌分析，断口分析，元素定性和半定量分析以及晶体结构分析。