一、技术参数

1.分辨率

1.1线分辨率：≤ 0.10 nm；

1.2信息分辨率：≤ 0.12 nm；

1.3 STEM分辨率：≤ 0.16 nm。

2. 加速电压：200 kV。

3. TEM模式下放大倍率：25- 1,050,000× ；STEM模式放大倍率：310- 320,000,000×。

4. 真空系统    

4.1 电子枪真空度≤1×10^-6 Pa；

4.2 样品室真空度≤2×10^-5 Pa；

4.3 标配液氮冷阱。

5. 能谱仪

5.1元素分析范围：C(6)- Cm(96)；

5.2能量分辨率：≤136 eV(Mn-Kα)，在输出计数率10 kcps内保持不变；≤140 eV (Mn-Kα)，在输出计数率50 kcps内保持不变；

5.3线或面扫描分析：快速EDS，Mapping像素驻留时间：10 μs；

5.4面分布：最大元素面分布分辨率4096×4096。

二、主要特点

1. 采用16分割的STEM探头，多分割探头的数据可多种方式自由组合，探头性能进一步增强：具有单电子探测的灵敏度，同时可耐受最强1.25nA@300kV束流的辐照。

2. 采用大极靴，能谱探头可深入极靴进行探测分析，提升能谱仪的信号采集能力。

3. TEM一体化超高速高动态数字观察相机。

4. TEM一体化超快速高分辨CMOS成像相机，能在STEM下，同时采集衍射数据，衍射花样可以直接拍摄。

5. 远程控制功能，人机分离操作模式，透射电镜及操控台位于不同的房间，日常操作通过远程控制实现，可以无需荧光屏，可以无需暗室。

6. 全数字化操作系统， 配置全自动光路和镜筒合轴软件系统，自动转带轴功能，简化使用操作。

三、主要用途

透射电镜属多功能测试仪器，具备拍摄样品普通形貌、高分辨图像、能谱分析和选区衍射分析等功能。广泛应用在物理、化学以及材料科学中，作为确定物质结构以及成分的一个重要方法，可对金属、陶瓷、半导体、塑料等材料进行微区结构观测，配合能谱仪对样品元素进行分布分析。

测试业务联系电话：0553-2871451                                                                                          负责人：尚吉花